系统用途
● 测量硅片背面银图层上导电胶的宽度和高度(如下图标红部分)。
产品信息
● 胶宽:370um-410um
● 胶高:100um-110um
检测结果
● 胶 宽:分辨率78um,平均胶宽重复性小于1个um
● 胶 高:分辨率5um,平均胶高重复性小于10um
● 节 拍:1秒(运动时间0.3s,出数据0.7s)
图像处理:3D全图
图像处理:3D细节图
图像处理:亮度细节图
图像处理:细节位图
NG和OK对比
NG品说明
胶高数据:高度分辨率5um,平均胶高重复性小于10um
胶宽数据:高度分辨率78um,平均胶高度重复性小于1个像素
界面:软甲你自主编写,可实时观测OK/NG产品,更符合客户要求
数据可追溯性
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